Мазуренко Е. А. Координационные соединения металлов в процессах химического осаждения из газовой фазы / Е. А. Мазуренко, А. И. Герасимчук // Укр. хим. журн. - 2002. - 68, № 7-8. - С. 67-74. - Библиогр.: 20 назв. - рус.Проведено узагальнення класичної схеми процесів CVD з використанням координаційних сполук металів як прекурсорів, що дозволяє проводити аналіз і розробляти технологічні процеси на основі лазерного, іонного, плазмового активування, спрей-піролізу та безреакторних методів. Розглянуто теоретичні основи вибору / цілеспрямованого синтезу прекурсорів для процесів CVD. На підставі раніше одержаних результатів сформульовано теоретичні основи управління властивостями функціональних матеріалів, отриманих методом CVD. Наведено конкретні приклади застосування методу CVD для одержання функціональних матеріалів різного призначення. Обговорено перспективи розвитку методів CVD з використанням координаційних сполук металів. Індекс рубрикатора НБУВ: Г442.25 + Г512.3
Шифр НБУВ: Ж21854 Пошук видання у каталогах НБУВ
Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
|