Исследовано влияние ультразвуковой (УЗ) обработки на аморфизацию кремния в процессе ионной имплантации. Показано, что плотность дефектов в поверхностном слое и толщина аморфного слоя увеличиваются при in situ УЗ обработке. Полученные результаты обсуждены в рамках модели сепарации и диффузии точечных дефектов.

Індекс рубрикатора НБУВ: З843.312

Рубрики:

Кремній та його сполуки

Шифр НБУВ: Ж60673 Пошук видання у каталогах НБУВ 

---

Додаткова інформація про автора(ів) публікації:
(cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці)

• Мельник Віктор Павлович (1963–) (фізико-математичні науки)
• Мельник Володимир Петрович (юридичні науки)
• Мельник Валентин Павлович (технічні науки)
• Мельник Володимир Петрович (1952–) (філософські науки)
• Попов Всеволод Геннадійович (фізико-математичні науки)
• Попов Валентин Георгійович (фізико-математичні науки)

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"