Книжкові видання та компакт-диски Журнали та продовжувані видання Автореферати дисертацій Реферативна база даних Наукова періодика України Тематичний навігатор Авторитетний файл імен осіб
|
Пошуковий запит: (<.>ID=REF-0000129620<.>) |
Загальна кількість знайдених документів : 1
|
Юзевич В. М. Механічні напруження в тонких плівках міді на монокристалічному кремнії / В. М. Юзевич, Б. П. Коман // Металлофизика и новейшие технологии. - 2003. - 25, № 6. - С. 747-761. - Бібліогр.: 35 назв. - укp.Експериментально, із застосуванням консольного методу, досліджено кінетику формування внутрішніх механічних напружень <$E sigma (d)> в тонких плівках міді на кремнійових монокристалічних підкладках за різних швидкостей осадження. Виявлено двостадійний характер змін внутрішніх напружень розтягувального характеру. На підставі термодинамічного підходу обгрунтовано механізм утворення меж зерен і запропоновано фізичний механізм формування внутрішніх напружень в конденсатах міді. Встановлено аналітичне співвідношення та критеріальні умови щодо поверхневих і міжфазних енергій для опису внутрішнього та зовнішнього розмірних ефектів у плівках міді на монокристалічному кремнії (співвідношення типу Холла - Петча). Ключ. слова: внутрішні напруження, тонкі плівки міді, кремнійова підкладка, поверхнева і міжфазна енергії Індекс рубрикатора НБУВ: К663.232.1-18
Рубрики:
Шифр НБУВ: Ж14161 Пошук видання у каталогах НБУВ Додаткова інформація про автора(ів) публікації: (cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці) Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
|
|
|