Исследован процесс плазмохимического травления (ПХТ) пленок силицидов титана и молибдена различного состава во фторсодержащей плазме. Показано влияние интенсивности ионной бомбардировки, скорости генерации химически активных частиц, состава плазмообразующей смеси и элементного состава обрабатываемой поверхности в процессе ПХТ на кинетику травления силицидных пленок. Выявлены существенные различия в характере ПХТ силицидов титана и молибдена, проявляющиеся в немонотонной зависимости скорости травления силицидов молибдена от соотношения концентраций его компонентов и уменьшении скорости травления силицидов титана при повышении содержания кислорода в плазме и на его поверхности. Даны практические рекомендации по улучшению воспроизводимости и качества процесса ПХТ силицидных пленок для формирования элементов интегральных схем.

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"