Баловсяк С. В. Определение параметров рельефа поверхности твердого тела в случае полного внешнего отражения рентгеновских лучей / С. В. Баловсяк, И. М. Фодчук // Металлофизика и новейшие технологии. - 2003. - 25, № 7. - С. 885-897. - Библиогр.: 8 назв. - рус.Представлено результати експериментальних і теоретичних досліджень параметрів рельєфу поверхні зразків GaAs і SiO2 за допомогою методів, що базуються на явищі повного зовнішнього відбивання (ПЗВ) рентгенівських променів. Проаналізовано вплив параметрів рельєфу й якості обробки поверхні на експериментальні інтегральні та диференціальні криві ПЗВ. За допомогою розробленої методики на основі аналізу одержаних кривих відновлено реальний рельєф поверхні та визначено його параметри, а також зміну густини поверхневого шару. Дані, одержані за допомогою методів ПЗВ, збігаються з результатами вимірів атомно-силової мікроскопії. Ключ. слова: интегральные и дифференциальные кривые полного внешнего отражения рентгеновских лучей, кривые качания, среднеквадратическая высота неровностей R_a, длина корреляции L_a, плотность поверхностного слоя Індекс рубрикатора НБУВ: В372.5 + В372.13
Рубрики:
Шифр НБУВ: Ж14161 Пошук видання у каталогах НБУВ Додаткова інформація про автора(ів) публікації: (cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці) Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
|