За допомогою методів рентгенівської дифракції в жорсткому (0,154 нм) і м'якому (3,16 нм) випромінюваннях та електронної мікроскопії досліджено особливості росту окремих плівок Ni і багатошарових рентгенівських дзеркал (БРД) Ni/C, виготовлених термічним випаровуванням з подальшим травленням іонами <$E roman Kr sup +> (<$E E > ~ 300 eB), <$E alpha~=~45 symbol Р> шарів металу. Випромінювання <$E {roman N} K sub alpha> застосовано для in situ контролю товщини шарів. Виявлено закономірності, які призводять до згладжування міжфазної шорсткості під час виготовлення БРД Ni/C. Показано, що плівка нікелю росте острівцями до товщини ~ 6 нм. Під час виготовлення БРД з 10 періодами шорсткість шарів Ni послідовно зростає від 0,21 до 0,54 нм зі збільшенням числа шарів. Травлення металевих шарів іонами відбувається без зміни шорсткості та порушення суцільності з потоншенням шару від 6 до 2 нм.

Ключ. слова: многослойное рентгеновское зеркало, тонкая пленка, шероховатость, ионное травление
Індекс рубрикатора НБУВ: В372.134с0 + К663.033.057.3

Рубрики:

Електропроменева металізація металів

Шифр НБУВ: Ж14161 Пошук видання у каталогах НБУВ 

---

Додаткова інформація про автора(ів) публікації:
(cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці)

• Першин Юрій Павлович (фізико-математичні науки)
• Кондратенко Валерій Володимирович (фізико-математичні науки)
• Севрюкова Вікторія Анатоліївна (фізико-математичні науки)

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"