Першин Ю. П. Особенности формирования многослойных рентгеновских зеркал Ni/C, изготовленных электронно-лучевым испарением в комбинации с ионно-лучевым травлением / Ю. П. Першин, Е. Н. Зубарев, В. В. Кондратенко, О. В. Польцева, А. Г. Пономаренко, В. А. Севрюкова, Я. Верхоевен // Металлофизика и новейшие технологии. - 2002. - 24, № 6. - С. 795-814. - Библиогр.: 29 назв. - рус.За допомогою методів рентгенівської дифракції в жорсткому (0,154 нм) і м'якому (3,16 нм) випромінюваннях та електронної мікроскопії досліджено особливості росту окремих плівок Ni і багатошарових рентгенівських дзеркал (БРД) Ni/C, виготовлених термічним випаровуванням з подальшим травленням іонами <$E roman Kr sup +> (<$E E > ~ 300 eB), <$E alpha~=~45 symbol Р> шарів металу. Випромінювання <$E {roman N} K sub alpha> застосовано для in situ контролю товщини шарів. Виявлено закономірності, які призводять до згладжування міжфазної шорсткості під час виготовлення БРД Ni/C. Показано, що плівка нікелю росте острівцями до товщини ~ 6 нм. Під час виготовлення БРД з 10 періодами шорсткість шарів Ni послідовно зростає від 0,21 до 0,54 нм зі збільшенням числа шарів. Травлення металевих шарів іонами відбувається без зміни шорсткості та порушення суцільності з потоншенням шару від 6 до 2 нм. Ключ. слова: многослойное рентгеновское зеркало, тонкая пленка, шероховатость, ионное травление Індекс рубрикатора НБУВ: В372.134с0 + К663.033.057.3
Рубрики:
Шифр НБУВ: Ж14161 Пошук видання у каталогах НБУВ Додаткова інформація про автора(ів) публікації: (cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці) Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
|