Гладких Л. И. Остаточные напряжения и структура покрытий нитридов титана и хрома, полученных методом ионно-плазменного осаждения / Л. И. Гладких, С. В. Малыхин, А. Т. Пугачев, Е. Н. Решетняк, Д. Б. Глушкова, С. С. Дьяченко, Г. П. Ковтун // Металлофизика и новейшие технологии. - 2003. - 25, № 6. - С. 763-776. - Библиогр.: 23 назв. - рус.Рентгенографічно досліджено фазовий склад, текстуру та напружений стан у покриттях на основі систем Ti - N, Cr - N, Ti - Cr - N, одержаних за допомогою методу плазмового осадження. У всіх виявлених фазах (TiN, Cr2N) виявлено текстуру та великі стискальні напруження, що досягають значення ~ 3 ГПа. Обговорено чинники, що впливають на рівень залишкових напружень, і запропоновано модель формування напруженого стану. Ключ. слова: тонкие пленки нитридов, рентгеновская дифрактометрия, структура, остаточные напряжения, текстура Індекс рубрикатора НБУВ: К663.033.057.2-18
Рубрики:
Шифр НБУВ: Ж14161 Пошук видання у каталогах НБУВ Додаткова інформація про автора(ів) публікації: (cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці) Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
|