На підставі вивчення фазового та хімічного складу шарів установлено умови селективної конденсації TiO2 і TiN у разі іонного розпилення Ti у розрідженій повітряній атмосфері. Вибірна конденсація будь-якої сполуки залежить від співвідношення компонентів у робочому газі, а також впливу частинок плазми на ростову поверхню. З метою підвищення селективного фазоутворення запропоновано використовувати додатковий порожнистий циліндричний електрод, який розташований над розпилюваною мішенню магнетрона та має її потенціал.

• Перекрестов Вячеслав Іванович (фізико-математичні науки)

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"