Наведено результати математичного моделювання вибору джерела випромінювання для дифракційного контролю регулярних рельєфних структур. Розроблено оптоелектронну систему дифракційного контролю з модуляцією лазерного випромінювання та високим відношенням сигнал/шум. Одержано експериментальні дані, які дозволяють ефективно контролювати процес пітоутворення.

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"