Васин А. В. Сравнительный анализ тонких пленок гидрогенизированного и негидрогенизированного аморфного карбида кремния / А. В. Васин, А. В. Русавский, С. П. Старик, В. И. Кушниренко, А. М. Куцай, А. Н. Назаров, В. С. Лысенко, А. В. Семенов, В. М. Пузиков, А. Г. Гонтарь, С. Н. Дуб // Сверхтвердые материалы. - 2004. - № 3. - С. 36-46. - Библиогр.: 6 назв. - рус.Описаны пленки a-SiC:H и a-SiC с составом, близким к стехиометрическому, полученные с помощью методов реактивного магнетронного распыления кремния в атмосфере Ar - CH4 и ионно-плазменного распыления с использованием модифицированного вакуумно-дугового источника из карбида кремния. Проведен комплексный сравнительный анализ морфологии поверхности, структуры, механических свойств, края фундаментального поглощения и люминесцентных свойств пленок, а также влияния на них температуры вакуумного отжига. Індекс рубрикатора НБУВ: Ж619-1
Рубрики:
Шифр НБУВ: Ж14159 Пошук видання у каталогах НБУВ Додаткова інформація про автора(ів) публікації: (cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці) Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
|