Книжкові видання та компакт-диски Журнали та продовжувані видання Автореферати дисертацій Реферативна база даних Наукова періодика України Тематичний навігатор Авторитетний файл імен осіб
|
Пошуковий запит: (<.>ID=REF-0000139675<.>) |
Загальна кількість знайдених документів : 1
|
Васін А. В. Структурні та електрофізичні властивості плівок аморфного карбіду кремнію / А. В. Васін, А. В. Русавський, О. М. Назаров, В. С. Лисенко, Я. М. Вовк, В. М. Іванов, С. П. Старик // Оптоэлектроника и полупроводниковая техника. - 2003. - Вып. 38. - С. 98-105. - Бібліогр.: 13 назв. - укp.Описано технологію осадження плівок аморфного карбіду кремнію за допомогою методу реактивного іонного розпилення кремнієвої мішені магнетроном постійного струму в газовій суміші Ar + CH4. Наведено результати дослідження впливу технологічних умов осадження на співвідношення в плівці кремнію та вуглецю. Комплексно проаналізовано структуру, оптичну ширину забороненої зони та морфологію поверхні плівок. Виготовлено тестові діодні гетероструктури Au/Ti/Al/a-SiC/Si/Al і виконано попередні дослідження вольт-амперних характеристик таких структур. Показано, що найкращі випрямляючі характеристики мають структури, на яких алюмінієвий контакт сформований за умов низькотемпературного вакуумного відпалу (450 <$E symbol Р>С). Індекс рубрикатора НБУВ: В379.2
Рубрики:
Шифр НБУВ: Ж60673 Пошук видання у каталогах НБУВ Додаткова інформація про автора(ів) публікації: (cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці) Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
|
|
|