Описано технологію осадження плівок аморфного карбіду кремнію за допомогою методу реактивного іонного розпилення кремнієвої мішені магнетроном постійного струму в газовій суміші Ar + CH4. Наведено результати дослідження впливу технологічних умов осадження на співвідношення в плівці кремнію та вуглецю. Комплексно проаналізовано структуру, оптичну ширину забороненої зони та морфологію поверхні плівок. Виготовлено тестові діодні гетероструктури Au/Ti/Al/a-SiC/Si/Al і виконано попередні дослідження вольт-амперних характеристик таких структур. Показано, що найкращі випрямляючі характеристики мають структури, на яких алюмінієвий контакт сформований за умов низькотемпературного вакуумного відпалу (450 <$E symbol Р>С).

• Васін Андрій Володимирович (фізико-математичні науки)
• Русавський Андрій Вадимович (фізико-математичні науки)
• Назаров Олексій Миколайович (фізико-математичні науки)
• Лисенко Варвара Сергіївна (економічні науки)
• Лисенко Володимир Сергійович (1940–) (фізико-математичні науки)
• Вовк Ярослав Миколайович (фізико-математичні науки)
• Іванов Володимир Миколайович (економічні науки)
• Іванов Володимир Михайлович (технічні науки)
• Іванов Вадим Миколайович (1892–1962) (медичні науки)
• Старик Сергій Петрович (технічні науки)

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"