Лісовський І. П. Термостимульовані структурні перетворення у напилених плівках <$E bold {{roman SiO} sub x}> / І. П. Лісовський, І. З. Індутний, В. Г. Литовченко, Б. М. Гнєнний, П. М. Литвин, Д. О. Мазунов, О. С. Оберемок, М. В. Сопінський, П. Є. Шепелявий // Укр. фіз. журн. - 2003. - 48, № 3. - С. 250-255. - Бібліогр.: 19 назв. - укp.Із використанням методів гравіметрії, мікротвердості, інфрачервоної спектроскопії, багатокутової еліпсометрії та мікроскопії атомних сил досліджено термостимульовану трансформацію структури кремній-кисневої фази в шарах <$E {roman SiO} sub x>, яка призводить до утворення нановключень кремнію. Продемонстровано, що вакуумна термообробка напилених плівок <$E {roman SiO} sub x> викликає збільшення концентрації кисневих містків у структурній сітці оксиду. В результаті оксид ущільнюється, а нанорельєф його поверхні згладжується. Показано, що виділення фаз кремнію та діоксиду кремнію зумовлене процесом переходу кисню від слабкоокиснених молекулярних комплексів (<$E roman SiOSi sub 3>) до сильноокиснених (<$E roman SiO sub 3 roman Si>). Індекс рубрикатора НБУВ: В372.6
Рубрики:
Шифр НБУВ: Ж26988 Пошук видання у каталогах НБУВ Додаткова інформація про автора(ів) публікації: (cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці) ![](/irbis_nbuv/images/info.png) Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
|