Із використанням методів гравіметрії, мікротвердості, інфрачервоної спектроскопії, багатокутової еліпсометрії та мікроскопії атомних сил досліджено термостимульовану трансформацію структури кремній-кисневої фази в шарах <$E {roman SiO} sub x>, яка призводить до утворення нановключень кремнію. Продемонстровано, що вакуумна термообробка напилених плівок <$E {roman SiO} sub x> викликає збільшення концентрації кисневих містків у структурній сітці оксиду. В результаті оксид ущільнюється, а нанорельєф його поверхні згладжується. Показано, що виділення фаз кремнію та діоксиду кремнію зумовлене процесом переходу кисню від слабкоокиснених молекулярних комплексів (<$E roman SiOSi sub 3>) до сильноокиснених (<$E roman SiO sub 3 roman Si>).

• Лісовський Ігор Петрович (1947–) (фізико-математичні науки)
• Індутний Іван Захарович (1949–) (фізико-математичні науки)
• Литовченко Володимир Григорович (1931–2021) (фізико-математичні науки)
• Литвин Петро Мар'янович (фізико-математичні науки)
• Мазунов Денис Олегович (фізико-математичні науки)
• Оберемок Олександр Степанович (фізико-математичні науки)
• Сопінський Микола Вікторович (фізико-математичні науки)
• Шепелявий Петро Євгенович (технічні науки)

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"