Проценко І. Ю. Фазоутворення та структурні зміни в двошарових плівкових системах Ti/Co і Ni/(Ti, V, Co, Cr) у процесі ізохронного відпалу / І. Ю. Проценко, В. В. Токмань, А. М. Чорноус, І. О. Шпетний // Металлофизика и новейшие технологии. - 2003. - 25, № 3. - С. 319-331. - Бібліогр.: 18 назв. - укp.С помощью методов электронографии и электронной микроскопии исследованы процессы фазообразования в двухслойных пленочных системах Ti/Co, Ni/Ti, Ni/V, Ni/Co и Ni/Cr, полученных и отожженных в вакууме <$E 10 sup {- 4}> - <$E 10 sup {- 5}> Па в течение 10 мин при температурах 600, 700, 800, 900 и 1000 К (толщина системы - 100 нм, соотношение толщин соответствует концентрации компонентов 40 - 60 % ат.). Установлено, что образование промежуточных фаз и твердых растворов происходит не в полном соответствии с диаграммой состояний, так как при более низких температурах отжига фазообразование может происходить независимо в обоих слоях системы, а при более высоких температурах диффузионные процессы тормозятся при образовании оксидов <$E roman {V sub 2 O sub 3,~Cr sub 2 O} sub 3> и <$E roman TiO sub 2>. Ключ. слова: двошарові плівкові системи, відпал, фазоутворення, проміжні фази, тверді розчини, оксиди Індекс рубрикатора НБУВ: К202.6 + К663.030.022-18
Рубрики:
Шифр НБУВ: Ж14161 Пошук видання у каталогах НБУВ Додаткова інформація про автора(ів) публікації: (cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці) ![](/irbis_nbuv/images/info.png) Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
|