Наведено результати розрахунків мікрорельєфу дифракційних оптичних елементів та експериментальні результати їх формування із використанням неорганічної лазерної літографії на основі халькогенідних склоподібних напівпровідників As - S - Se. Показано, що роздільна здатність та фізико-хімічні властивості неорганічних резистів на основі фоточутливого шару As - S - Se дозволяють використовувати їх у виробництві дифракційних оптичних елементів.

• Свєчніков Сергій Васильович (1926–2017) (технічні науки)
• Волков Андрій Володимирович (технічні науки)

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"