Томашик З. Ф. Химическое травление монокристаллов CdTe и <$E bold {{roman Cd} sub x {roman Hg} sub 1-x roman Te}> в растворах систем <$E bold roman {H sub 2 O sub 2}>-минеральная кислота / З. Ф. Томашик, Э. М. Лукиянчук, В. Н. Томашик // Оптоэлектроника и полупроводниковая техника. - 2003. - Вып. 38. - С. 204-209. - Библиогр.: 13 назв. - рус.Вследствие проведенных экспериментальных исследований изучена кинетика и механизм растворения теллурида кадмия и твердого раствора <$E roman {Cd sub 0,22 Hg sub 0,78 Te}> в растворах систем <$E roman {H sub 2 O sub 2}> - минеральная кислота. В качестве последней использованы азотная, серная, фосфорная и соляная кислоты. Экспериментальные исследования показали, что практически во всех изученных системах растворов существуют полирующие области. Однако растворы систем <$E roman {H sub 2 O sub 2~-~H sub 2 SO sub 4}> и <$E roman {H sub 2 O sub 2~-~HNO sub 3}> есть исключением в случае CdTe, так как поверхность его образцов после обработки в таких растворах не полируется. Пассивацию поверхности, наблюдающуюся в результате обработки образцов твердого раствора <$E roman {Cd sub 0,22 Hg sub 0,78 Te}> при его травлении в растворах систем <$E roman {H sub 2 O sub 2~-~HNO sub 3 (H sub 3 PO sub 4})>, можно использовать при разработке технологических процессов совместного травления гетероструктур CdTe - <$E {roman Cd} sub x {roman Hg} sub 1-x roman Te>, когда необходимо удалить CdTe, не нарушая при этом сформированных слоев твердых растворов <$E {roman Cd} sub x {roman Hg} sub 1-x roman Te>. Індекс рубрикатора НБУВ: В372.241 + Г122.425-27
Рубрики:
Шифр НБУВ: Ж60673 Пошук видання у каталогах НБУВ Додаткова інформація про автора(ів) публікації: (cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці) ![](/irbis_nbuv/images/info.png) Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
|