Исследованы кинетика и механизм химического взаимодействия InAs с растворами систем HNO3 - HCl - растворитель (в качестве растворителя использована вода, уксусная, щавелевая, винная и молочная кислоты). В результате проведенных экспериментов установлено влияние природы растворителя на характер растворения арсенида индия в указанных растворах, построены поверхности одинаковых скоростей растворения, а также определены области полирующих и неполирующих растворов. Показано, что при постепенном переходе от системы к системе HNO3 - HCl - H2O, HNO3 - HCl - CH3COOH, HNO3 - HCl - щавелевая кислота, HNO3 - HCl - винная кислота, HNO3 - HCl - молочная кислота увеличивается область полирующих растворов и улучшается качество полированной поверхности. Установлено, что в кинетике химического травления InAs растворами систем HNO3 - HCl - растворитель, как и в случае других активационных процессов, наблюдается компенсационная зависимость.

• Даниленко Світлана Григорівна (технічні науки)
• Томашик Зінаїда Федорівна (хімічні науки)

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"