Овсянников В. П. CVD-синтез тонких оксидных пленок Zn и Al при ультразвуковой активации / В. П. Овсянников, Е. А. Мазуренко, А. И. Герасимчук, Л. И. Железнова, М. Э. Бугайова // Укр. хим. журн. - 2002. - 68, № 1-2. - С. 87-90. - Библиогр.: 6 назв. - рус.Розглянуто теоретичні передумови, що обгрунтовують зміни в фізико-хімічних властивостях плівкових матеріалів за ультразвукового впливу на підкладку в процесі їх синтезу, а також наведено конкретні приклади покращання функціональних характеристик плівок, що осаджуються за такої активації процесу. Індекс рубрикатора НБУВ: Г122.412/413-4
Рубрики:
Шифр НБУВ: Ж21854 Пошук видання у каталогах НБУВ
![](/irbis_nbuv/images/info.png) Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
|