За допомогою методів рентгенівської дифракції, просвітлювальної електронної мікроскопії поперечних зрізів, резистометрії та циклічного наноіндентування досліджено нанокристалічну структуру та механічні властивості плівок TaSi2 на монокристалічному кремнії, одержаних розпиленням мішені TaSi2. Установлено, що зі зменшенням швидкості осадження плівки збільшується вміст домішок O, C та N у ній. Це зумовлює утворення аморфної фази, яка в разі наступного відпалу кристалізується в суміш TaSi2 і Ta5Si3. Після відпалу за умов 970 К у плівці, осадженій зі швидкістю 0,2 нм/c, утворюється нанокристалічна структура з розміром зерна 10 нм, завдяки чому значно збільшується нанотвердість і модуль пружності. Після осадження зі швидкістю 1 нм/с плівки містили в основному TaSi2 та аморфну фазу. Після відпалу аморфна фаза біля підкладки кремнію існує разом з колоноподібними зернами TaSi2 розміром <$E 150~times~500> нм. Відпалена тонка плівка стає неоднорідною за товщиною, нанотвердість і модуль пружності збільшуються.

• Сидоренко Сергій Іванович (1947–) (технічні науки)

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"