Книжкові видання та компакт-диски Журнали та продовжувані видання Автореферати дисертацій Реферативна база даних Наукова періодика України Тематичний навігатор Авторитетний файл імен осіб
|
Пошуковий запит: (<.>ID=REF-0000144960<.>) |
Загальна кількість знайдених документів : 1
|
Ambrosov S. V. Laser photoionization technology and new equipment principal scheme for preparing the films of super pure composition at atomic level = Лазерно-фотоіонізаційна технологія і нова принципіальна схема установки для виготовлення плівок особливо чистого складу на атомному рівні / S. V. Ambrosov // Сенсор. електрон. і мікросистем. технології. - 2005. - № 2. - С. 38-41. - Библиогр.: 13 назв. - англ.Розроблено нові схеми лазерно-фотоіонізаційної технології контролю й очищення напівпровідникових речовин і виготовлення плівок особливо чистого складу на атомному рівні. Представлено нову принципіальну схему відповідних установок. Ключ. слова: laser photo-ionization technology, preparing films, cleaning semiconductors, optimal schemes Індекс рубрикатора НБУВ: К345.5 + Ж619
Рубрики:
Шифр НБУВ: Ж24835 Пошук видання у каталогах НБУВ
Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
|
|
|