РЕФЕРАТИВНА БАЗА ДАНИХ "УКРАЇНІКА НАУКОВА"
Abstract database «Ukrainica Scientific»


Бази даних


Реферативна база даних - результати пошуку


Вид пошуку
Пошуковий запит: (<.>ID=REF-0000144997<.>)
Загальна кількість знайдених документів : 1

Lisovskyi I. P. 
Infrared study of thermally induced phase separation in SiOx films = Дослідження термостимульованого фазового розділення у плівках SiOx методом ІЧ-спектроскопії / I. P. Lisovskyi, V. G. Lytovchenko, I. Z. Indutnyi, D. O. Mazunov, P. E. Shepelyavyi // Укр. фіз. журн. - 2005. - 50, № 3. - С. 249-255. - Библиогр.: 30 назв. - англ.

Досліджено тонкі плівки SiOx (<$E x~symbol Ы~1,3>), одержані термічним вакуумним випаровуванням монооксиду кремнію. Використовуючи ІЧ-спектроскопію з аналізом форми смуги поглинання на зв'язках Si - О, досліджено термостимульовану (температури відпалу 700 та 1 000 <$E symbol Р>C) структурну трансформацію фази Si - О у шарах SiOx, яка призводить до утворення аморфних або кристалічних кремнієвих нановключень. Показано, що термічна обробка веде до розпаду молекулярних комплексів слабкоокисненого кремнію та формування як кластерів кремнію, так і молекулярних кластерів, що містять сильноокиснений кремній. Перетворення оксидної фази відбувається майже повністю вже у перші 5 хв термічної обробки. Плівки, відпалені за 700 <$E symbol Р>C, в основному містять аморфні кремнієві нановключення, вбудовані у гомогенну матрицю SiO1,75 (об'ємна частка аморфної фази Si становить близько 17 %). Плівки, відпалені за 1 000 <$E symbol Р>C, можна представити як кремнієві нанокристали (об'ємна їх частка становить близько 20 %), оточені тонкими проміжними шарами SiOx та вбудовані в SiO2.


Індекс рубрикатора НБУВ: В379.2

Рубрики:

Шифр НБУВ: Ж26988 Пошук видання у каталогах НБУВ 
Додаткова інформація про автора(ів) публікації:
(cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці)
  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
 
Національна бібліотека України імені В. І. Вернадського
Відділ наукового формування національних реферативних ресурсів
Інститут проблем реєстрації інформації НАН України

Всі права захищені © Національна бібліотека України імені В. І. Вернадського