Мовчан Б. А. Электронно-лучевая технология испарения и осаждения из паровой фазы неорганических материалов с аморфной, нано- и микроструктурой / Б. А. Мовчан // Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології. - 2004. - 2, Вип. 4. - С. 1103-1126. - Библиогр.: 30 назв. - рус.Описано технологічні схеми високошвидкісного електронно-променевого випаровування неорганічних речовин у вакуумі та технологічні параметри, що контролюють осадження, структуру та властивості товстих конденсатів (плівок). Розглянуто приклади одно- та багатофазних металевих, металокерамічних, кераміко-металевих і керамічних конденсатів завтовшки від кількох мікрометрів до декількох міліметрів з дисперсною, багатошаровою, пористою та градієнтною структурами в широкому діапазоні розмірів структурних елементів. Відзначено розмірні ефекти в структурі та механічних властивостях товстих конденсатів. Висвітлено області практичного застосування неорганічних матеріалів, осаджених з парової фази у вакуумі. Ключ. слова: электронно-лучевое испарение, толстые пленки, новые материалы, покрытия Індекс рубрикатора НБУВ: Ж619 + К663.030.022
Рубрики:
Шифр НБУВ: Ж72631 Пошук видання у каталогах НБУВ Додаткова інформація про автора(ів) публікації: (cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці) Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
|