Павлова О. П. Формування епітаксійних плівок силіцидів перехідних металів на кремнії / О. П. Павлова // Наук. вісті НТУУ "КПІ". - 2005. - № 4. - С. 75-82. - Бібліогр.: 43 назв. - укp.Досліджено плівки силіцидів перехідних металів як перспективні матеріали, властивості яких задовольняють вимоги нанотехнологій, що розвиваються на даний час. Розглянуто області застосування плівок силіцидів перехідних металів, а також способи формування досконалих епітаксійних силіцидних плівок на монокристалічному кремнії. Індекс рубрикатора НБУВ: Ж619
Рубрики:
Шифр НБУВ: Ж16492 Пошук видання у каталогах НБУВ Додаткова інформація про автора(ів) публікації: (cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці) ![](/irbis_nbuv/images/info.png) Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
|