РЕФЕРАТИВНА БАЗА ДАНИХ "УКРАЇНІКА НАУКОВА"
Abstract database «Ukrainica Scientific»
НОВІ
НАДХОДЖЕННЯ
ПОШУК
РУБРИКАТОР

Бази даних

Реферативна база даних - результати пошуку

Книжкові видання та компакт-диски
Журнали та продовжувані видання
Автореферати дисертацій
Реферативна база даних
Наукова періодика України
Тематичний навігатор
Авторитетний файл імен осіб
Вид пошуку
Пошуковий запит: (<.>ID=REF-0000146195<.>)
Загальна кількість знайдених документів : 1

Сидоренко С. И. 
Фазообразование в пленочной композиции Ti(200 нм)/Cu(200 нм)/Ti(10 нм)/<$E bold roman SiO sub 2>(370 нм) на монокристаллическом кремнии(100) / С. И. Сидоренко, К. -Н. Ту, Ю. Н. Макогон, Е. П. Павлова, Т. И. Вербицкая, В. Л. Свечников, И. Е. Котенко, В. А. Мохорт, Ю. В. Нестеренко // Металлофизика и новейшие технологии. - 2005. - 27, № 8. - С. 1017-1025. - Библиогр.: 10 назв. - рус.

Методами рентгеновской дифракции, просвечивающей электронной микроскопии поперечных срезов, растровой электронной микроскопии и резистометрии исследованы твердотельные реакции в пленочной композиции Ti(200 нм)/Cu(200 нм)/Ti(10 нм)/<$E roman SiO sub 2>(370 нм) на монокристаллическом кремнии ориентации (100). Исследуемая пленочная композиция получена последовательным электронно-лучевым осаждением слоев элементов в вакууме <$E 9~cdot~10 sup -7> Торр без развакуумирования на кремниевую подложку, покрытую слоем оксида. Вакуумные отжиги образцов проводились в температурном интервале 670 - 1 270 К в течение 1 ч. Показано, что первая силицидная фаза меди <$E roman {Cu sub 15 Si sub 4}> регистрируется после отжига при 1 070 К; отжиг при 1 270 К сопровождается образованием тройного соединения CuTiSi.


Ключ. слова: пленка, силицид, фаза, тройное соединение, фазовый состав, отжиг
Індекс рубрикатора НБУВ: К663.030.022-18

Рубрики:
 Металізація металів у вакуумі 

Шифр НБУВ: Ж14161 Пошук видання у каталогах НБУВ 
Додаткова інформація про автора(ів) публікації:
(cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці)
  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
 
Національна бібліотека України імені В. І. Вернадського
Відділ наукового формування національних реферативних ресурсів
Інститут проблем реєстрації інформації НАН України

Всі права захищені © Національна бібліотека України імені В. І. Вернадського