Для створення сенсорів деформації, працездатних за умов кріогенних температур, досліджено тензометричні характеристики легованих бором ниткоподібних кристалів (НК) Si p-типу, закріплених на пружних елементах, виготовлених зі сталі, за фіксованих температур 4,2, 77 і 300 K. Показано, що термічна деформація, яка виникає внаслідок різниці коефіцієнтів термічного розширення кремнію та матеріалу пружного елемента (сталі) у разі закріплення кристала на балці, дуже сильно впливає на тензометричні характеристики кристалів кремнію, особливо за кріогенних температур. Це необхідно враховувати у процесі розробки сенсорів на базі мікрокристалів Si для вимірювання деформацій у конструкціях, виготовлених з різних матеріалів. Показано, що НК Si p-типу з <$E rho sub {300~roman K}~=~0,010~roman {Ом~times~см}> з концентрацією бору поблизу переходу метал - діелектрик з металевого боку з коефіцієнтом тензочутливості <$E K sub {4,2~roman K}~=~-1~020> у разі деформації стиску є найбільш придатними для створення сенсорів деформації для кріогенних температур, зокрема для 4,2 K. Для створення сенсорів деформації для температури рідкого азоту найбільш придатними є НК p-Si з <$E rho sub {300~roman K}~=~0,025~roman {Ом~times~см}> з коефіцієнтом тензочутливості <$E K sub {77~roman K}~=~263>.

Ключ. слова: кремній, ниткоподібні кристали, кріогенні температури, сенсори деформації, п'єзорезистивний
Індекс рубрикатора НБУВ: З843.413 + В379.2

Рубрики:

П'єзоелектрики

Фізика напівпровідників

Шифр НБУВ: Ж24835 Пошук видання у каталогах НБУВ 

---

Додаткова інформація про автора(ів) публікації:
(cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці)

• Дружинін Анатолій Олександрович (фізико-математичні науки)
• Кутраков Олексій Петрович (технічні науки)
• Павловський Ігор Володимирович (технічні науки)

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"