Терпий Д. Н. Прогнозирование состава и свойств пленок, полученных ионно-плазменным распылением / Д. Н. Терпий, П. И. Игнатенко, В. В. Петухов // Металлофизика и новейшие технологии. - 2004. - 26, № 8. - С. 1063-1068. - Библиогр.: 6 назв. - рус.Наведено результати, що стосуються змін складу, структури та властивостей плівок, зумовлених змінами енергетичного спектра атомів, що конденсуються. Розподіл атомів за енергією визначено моделюванням за допомогою методу Монте-Карло. Показано, що під час осадження фаз з високими температурами плавлення (системи V - B і Zr - B) провідну роль у процесах фазоутворення та формування структури зерна відіграє енергія, з якою адатоми надходять на поверхню конденсації. Ключ. слова: ионно-плазменное осаждение, пленки, моделирование, фазообразование, процессы переноса Індекс рубрикатора НБУВ: К663.030.022-18
Рубрики:
Шифр НБУВ: Ж14161 Пошук видання у каталогах НБУВ Додаткова інформація про автора(ів) публікації: (cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці) Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
|