Досліджено вплив основних технологічних параметрів плазмохімічного осадження на властивості тонкоплівкових покриттів на основі аморфного гідрогенізованого карбіду кремнію (a-SiC:H), одержаного з використанням метилтрихлорсилану. Встановлено вплив температури підкладки, потужності високочастотного розряду, тиску газів-реагентів у реакційній камері на ефективність плазми. Одержані плівки вивчено за допомогою методів вторинної мас-спектроскопії, інфрачервоної й оптичної спектроскопії, а також наноінденторних тестів на твердість. Показано, що плівки на основі аморфного гідрогенізованого карбіду кремнію можна використовувати як зносостійкі покриття для металорізальних інструментів та як активні шари у напівпровідникових приладах.

Ключ. слова: зносостійкість, тонкоплівкове покриття, метилтрихлорсилан, гідрогенізований аморфний карбід кремнію, плазма, осадження, нанотвердість
Індекс рубрикатора НБУВ: К663.033.057.2

Рубрики:

Металізація металів з використанням плазмового струменя (плазмова металізація)

Шифр НБУВ: Ж28502 Пошук видання у каталогах НБУВ 

---

Додаткова інформація про автора(ів) публікації:
(cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці)

• Порада Олександр Карпович (технічні науки)
• Іващенко Людмила Анатоліївна (економічні науки)
• Іващенко Людмила Андріївна (технічні науки)
• Іващенко Володимир Іванович (1956–) (фізико-математичні науки)
• Попов Віктор Миколайович (сільськогосподарські науки)
• Попов Віталій Миколайович (біологічні науки)
• Попов Володимир Миколайович (економічні науки)
• Попов Вадим Михайлович (технічні науки)
• Дуб Сергій Миколайович (технічні науки)

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"