Проведены сопоставительные исследования структуры и механических характеристик ионно-плазменных нанокристаллических конденсатов системы Ti - W - B. При исследовании фазового состава и структуры покрытий, полученных триодным распылением мишени состава 80 % (по объему) W2B5 - 20 % (по объему) TiB2, выявлен критический интервал (0,11 - 0,25 нм/с) скоростей конденсации, ниже которого формируется фаза с кубической решеткой типа (W,Ti)B0,7...1,2(O,N,C)0,3...0,2, а выше - твердый раствор (W,Ti)B2 с гексагональной решеткой и элементным составом, близким к распыляемой мишени. Выявлено изменение структурного состояния материала от кластерно-кристаллического при низких (U = 0,6 - 1,0 кВ) значениях распыляющего напряжения и до текстурированного кристаллического при <$E U~>>~2,2> кВ. Рост совершенства структуры с увеличением напряжения приводит к повышению твердости и модуля упругости конденсатов, максимальные значения которых достигнуты при U = 3,2 кВ: твердость - 19,9 и 37,9 ГПа, модуль упругости - 205 и 389 ГПа для фаз с кубической и гексагональной решеткой соответственно. Обсуждены условия образования кластерной составляющей в конденсатах и ее влияние на твердость и модуль упругости материалов.

Індекс рубрикатора НБУВ: К663.030.022-18

Рубрики:

Металізація металів у вакуумі

Шифр НБУВ: Ж14159 Пошук видання у каталогах НБУВ 

---

Додаткова інформація про автора(ів) публікації:
(cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці)

• Соболь Олег Валентинович (фізико-математичні науки)
• Соболь Оксана Вікторівна (хімічні науки)
• Григорьєв Олег Миколайович (1944–) (фізико-математичні науки)

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"