Розглянуто механізм переносу газоподібного B2O3 в інертному середовищі азоту від твердих планарних джерел бору на основі алюмоборосилікатних сполук до пластин кремнію великого діаметра порядку 300 мм і більше. У температурному інтервалі 850 - 1 100 <$E symbol Р>C розраховано розподіл концентрацій B2O3 у проміжку між джерелом і пластиною кремнію, визначено коефіцієнти дифузії молекул B2O3 в атмосфері азоту. Показано, що у разі використання розроблених планарних джерел бору концентрація B2O3 біля поверхні кремнію перевищує 90 % концентрації B2O3 на поверхні джерела вже через 60 с, що є набагато меншим, ніж мінімальна тривалість технологічного процесу легування пластин кремнію бором.

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"