РЕФЕРАТИВНА БАЗА ДАНИХ "УКРАЇНІКА НАУКОВА"
Abstract database «Ukrainica Scientific»
НОВІНАДХОДЖЕННЯ |
ПОШУК
|
РУБРИКАТОР
|
Бази даних
Реферативна база даних - результати пошуку
Книжкові видання та компакт-дискиЖурнали та продовжувані виданняАвтореферати дисертаційРеферативна база данихНаукова періодика УкраїниТематичний навігаторАвторитетний файл імен осіб|
|
Пошуковий запит: (<.>ID=REF-0000152366<.>) | |||
|
Загальна кількість знайдених документів : 1 |
|||
Раренко І. М. Контролер керування температурними режимами вирощування напівпровідникових плівок на базі IBM PC / І. М. Раренко, Г. І. Воробець, О. І. Воробець, С. Л. Воропаєва, Є. Д. Громко, Є. М. Косенков // Фізика і хімія твердого тіла. - 2004. - 5, № 4. - С. 815-818. - Бібліогр.: 4 назв. - укp. Запропоновано систему електронного контролю та керування температурним режимом технологічного процесу напівпровідникового виробництва з використанням прецизійного регулятора температури ВРТ-3 і найпростішого IBM сумісного комп'ютера. Гнучкість регулювання та забезпечення довільного закону зміни температурного режиму реалізується виключно на програмному рівні з урахуванням наявних в окремих зонах температурних градієнтів та інерційності теплових процесів. Ключ. слова: система електронного контролю, вирощування плівок Індекс рубрикатора НБУВ: З843.395-06 Рубрики: Шифр НБУВ: Ж26618 Пошук видання у каталогах НБУВ Додаткова інформація про автора(ів) публікації: (cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці)
 Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця" | |||
| Національна бібліотека України імені В. І. Вернадського |
 |
| Відділ наукового формування національних реферативних ресурсів |
 |
| Інститут проблем реєстрації інформації НАН України |
Всі права захищені © Національна бібліотека України імені В. І. Вернадського