Марченко И. Г. Компьютерное моделирование вакуумного осаждения пленок ниобия / И. Г. Марченко, И. И. Марченко, И. М. Неклюдов // Вісн. Харк. ун-ту. Сер. фіз. "Ядра, частинки, поля". - 2004. - 628, вип. 2. - С. 93-98. - Библиогр.: 19 назв. - рус.Изучен процесс осаждения пленок Nb при комнатных температурах. Исследована кинетика изменения поверхностного рельефа растущей пленки с помощью метода молекулярной динамики. Обнаружено, что в процессе роста на плоской поверхности образуются "микротрещины", которые залегают вдоль кристаллографических направлений <$E <<~100~>> >. Показано, что эти поверхностные структуры могут релаксировать с образованием краевой дислокации типа 1/2 <$E <<~111~>> > в объеме материала. Определено изменение атомной плотности пленки по отношению к объемной. Показано, что уменьшение плотности связано с возникновением микропор, которые коррелированно залегают вдоль направлений <$E <<~100~>> > в плоскостях {110}. Ключ. слова: пленки, вакуумное осаждение, моделирование, ниобий Індекс рубрикатора НБУВ: В378.26в641.8 + К235.140.26 + К663.030.022
Рубрики:
Шифр НБУВ: Ж29137 Пошук видання у каталогах НБУВ Додаткова інформація про автора(ів) публікації: (cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці) Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
|