Валах М. Я. Компонентний склад та пружна деформація в зарощених самоорганізованих SiGe-наноострівцях / М. Я. Валах, В. М. Джаган, З. Ф. Красильник, О. С. Литвин, О. В. Новіков, В. О. Юхимчук // Укр. фіз. журн. - 2005. - 50, № 9. - С. 987-990. - Бібліогр.: 12 назв. - укp.За допомогою методів спектроскопії комбінаційного розсіяння світла й атомної силової мікроскопії досліджено самоорганізовані SiGe-наноострівці, сформовані в процесі молекулярно-променевої епітаксії Ge на кремнієву підкладку. Встановлено, що зарощування сформованих острівців шаром кремнію призводить до збільшення в них вмісту Si та величини пружної деформації. Показано, що варіювання швидкості осадження Ge в межах від 0,12 до 0,5 <$E roman A back 55 up 35 symbol Р "/" roman c> не змінює компонентний склад і механічні напруження в острівцях. Цей факт пояснено тим, що на компонентний склад і величини напружень в острівцях переважаючий вплив має інтердифузія, зумовлена, в першу чергу, неоднорідними напруженнями в острівцях і в підкладці навколо них. Індекс рубрикатора НБУВ: В379.3 + В379.2
Рубрики:
Шифр НБУВ: Ж26988 Пошук видання у каталогах НБУВ Додаткова інформація про автора(ів) публікації: (cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці) ![](/irbis_nbuv/images/info.png) Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
|