РЕФЕРАТИВНА БАЗА ДАНИХ "УКРАЇНІКА НАУКОВА"
Abstract database «Ukrainica Scientific»
НОВІ
НАДХОДЖЕННЯ
ПОШУК
РУБРИКАТОР

Бази даних

Реферативна база даних - результати пошуку

Книжкові видання та компакт-диски
Журнали та продовжувані видання
Автореферати дисертацій
Реферативна база даних
Наукова періодика України
Тематичний навігатор
Авторитетний файл імен осіб
Вид пошуку
Пошуковий запит: (<.>ID=REF-0000153128<.>)
Загальна кількість знайдених документів : 1

Оксанич А. П. 
Исследование параметров шлифования и структурных нарушений при шлифовании кремниевых структур / А. П. Оксанич, С. Э. Притчин, М. А. Ткаченко // Систем. технології. - 2005. - № 1. - С. 62-72. - Библиогр.: 8 назв. - рус.

Досліджено та визначено параметри процесу шліфовки кремнієвих структур і причини виникнення структурних порушень поверхневого шару. Науково обгрунтовано основні елементи та концепцію застосування системи автоматичного керування станком САШ-420М, що забезпечує оптимальний режим шліфовки кремнієвих структур.


Індекс рубрикатора НБУВ: Ж68

Рубрики:
 Обробка окремих матеріалів 

Шифр НБУВ: Ж69472 Пошук видання у каталогах НБУВ 
Додаткова інформація про автора(ів) публікації:
(cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці)
  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
 
Національна бібліотека України імені В. І. Вернадського
Відділ наукового формування національних реферативних ресурсів
Інститут проблем реєстрації інформації НАН України

Всі права захищені © Національна бібліотека України імені В. І. Вернадського