Ковтун Н. А. Дослідження властивостей полікристалічних плівок ZnO, легованих Al, отриманих методом нереактивного магнетронного розпилу / Н. А. Ковтун // Фізика і хімія твердого тіла. - 2004. - 5, № 4. - С. 731-737. - Бібліогр.: 11 назв. - укp.Досліджено структурні, електричні й оптичні властивості прозорих шарів ZnO:Al, одержаних за допомогою методу високочастотного нереактивного магнетронного розпилу. Оптимізовано оптоелектричні властивості плівок ZnO:Al, осаджених за різних значень температури підкладки та робочого тиску в вакуумній камері. Встановлено, що у разі збільшення тиску від 1 мкбар до 20 мкбар спостерігається збільшення питомого опору у зв'язку із зменшенням концентрації та рухливості основних носіїв заряду, що у свою чергу пов'язано з погіршенням структурної якості одержаних плівок. Ключ. слова: фотоелектричні перетворювачі, широкозонні напівпровідникові "вікна", тонкі плівки, магнетронний розпил, оптичні та електричні властивості, рентгенодифрактометричні дослідження, структура Індекс рубрикатора НБУВ: К663.03-18
Рубрики:
Шифр НБУВ: Ж26618 Пошук видання у каталогах НБУВ Додаткова інформація про автора(ів) публікації: (cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці) Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
|