Досліджено структурні, електричні й оптичні властивості прозорих шарів ZnO:Al, одержаних за допомогою методу високочастотного нереактивного магнетронного розпилу. Оптимізовано оптоелектричні властивості плівок ZnO:Al, осаджених за різних значень температури підкладки та робочого тиску в вакуумній камері. Встановлено, що у разі збільшення тиску від 1 мкбар до 20 мкбар спостерігається збільшення питомого опору у зв'язку із зменшенням концентрації та рухливості основних носіїв заряду, що у свою чергу пов'язано з погіршенням структурної якості одержаних плівок.

• Ковтун Назар Анатолійович (фізико-математичні науки)

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"