Глауберман М. А. Вплив структурних дефектів у приповерхневих шарах кремнію на перетворювальні властивості інжекційно-інверсійної магніточутливої структури / М. А. Глауберман, О. А. Кулініч, В. В. Єгоров, Н. А. Каніщева, В. В. Козел // Фізика і хімія твердого тіла. - 2004. - 5, № 1. - С. 38-43. - Бібліогр.: 8 назв. - укp.За допомогою сучасних методів дослідження визначено вплив структурних недосконалостей, домішкового складу та неоднорідностей легування на основні параметри, відповідальні за чутливість інжекційно-інверсійної магніточутливої структури. Досліджено пластини вихідного монокристалічного кремнію, а також структури оксид-кремній. Установлено, що у більшості випадків основними домішками в вихідному кремнії, а також у пластинах кремнію, після зняття оксиду, є кисень і вуглець. Кисень у цьому разі проявляє електричну активність і, таким чином, впливає на параметри структурних дефектів, які, в свою чергу, впливають на рухливість і магніточутливі властивості досліджуваної структури. Ключ. слова: дефекти, кремній, кисень, магніточутлива структура, рухливість Індекс рубрикатора НБУВ: В379.2
Рубрики:
Шифр НБУВ: Ж26618 Пошук видання у каталогах НБУВ Додаткова інформація про автора(ів) публікації: (cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці) Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
|