Описано автоматизовану установку для безконтактного контролю результатів технологічних обробок (ТО) напівпровідникових пластин і фізичні основи її функціонування. Можливості установки базуються на вимірюваннях зарядового стану поверхні за допомогою методу контактної різниці потенціалів і дозволяють вимірювати величину дифузійної довжини неосновних носіїв заряду. На прикладі пластин кремнію, що пройшли технологічні етапи виробництва сонячних елементів, показано основні можливості установки та надано результати досліджень, що характеризують якість ТО.

• Третяк Олена Володимирівна (педагогічні науки)
• Третяк Олексій Володимирович (технічні науки)

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"