Запропоновано експресну методику для визначення товщини та швидкості росту шару поруватого кремнію під час електрохімічного травлення кремнієвої платини в розчині плавикової кислоти. Методика базується на вимірюваннях відбитого лазерного променя під час травлення. Наведено результати числового моделювання залежності коефіцієнта відбиття поруватого кремнію від товщини шару.

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"