РЕФЕРАТИВНА БАЗА ДАНИХ "УКРАЇНІКА НАУКОВА"
Abstract database «Ukrainica Scientific»


Бази даних


Реферативна база даних - результати пошуку


Вид пошуку
Пошуковий запит: (<.>ID=REF-0000156522<.>)
Загальна кількість знайдених документів : 1

Іванов І.  
Автоматизований комплекс для in-situ контролю параметрів росту тонких шарів поруватого кремнію / І. Іванов, В. Скришевський // Вісн. Київ. нац. ун-ту. Сер. Радіофізика та електроніка. - 2006. - Вип. 9. - С. 21-24. - Бібліогр.: 6 назв. - укp.

Запропоновано експресну методику для визначення товщини та швидкості росту шару поруватого кремнію під час електрохімічного травлення кремнієвої платини в розчині плавикової кислоти. Методика базується на вимірюваннях відбитого лазерного променя під час травлення. Наведено результати числового моделювання залежності коефіцієнта відбиття поруватого кремнію від товщини шару.


Індекс рубрикатора НБУВ: Ж619-7с + В372.1в641.8

Рубрики:

Шифр НБУВ: Ж28079/рад.фіз.Ел. Пошук видання у каталогах НБУВ 
  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
 
Національна бібліотека України імені В. І. Вернадського
Відділ наукового формування національних реферативних ресурсів
Інститут проблем реєстрації інформації НАН України

Всі права захищені © Національна бібліотека України імені В. І. Вернадського