Сидоренко С. І. Багатостадійна модель дифузійного формування включень силіцидної фази NiSi2 в плівковій системі Ni(10 нм)/Si(001) / С. І. Сидоренко, С. М. Волошко, Ю. М. Макогон, О. П. Павловa, С. О. Замулко, А. В. Могилатенко, Г. Беддіс // Металлофизика и новейшие технологии. - 2005. - 27, № 11. - С. 1529-1537. - Бібліогр.: 8 назв. - укp.За допомогою методів електронної мікроскопії поперечних зрізів і растрової електронної мікроскопії морфології поверхні досліджено термічно стимульовані твердотільні реакції, що протікають в плівковій системі Ni(10 нм)/Si(001) під час відпалу в атмосфері азоту. Виявлено, що процес формування кінцевого продукту твердотільних реакцій, - силіциду NiSi2, - є багатостадійним. Ключ. слова: силіцид, відпал, дифузія, включення, дифузійна модель Індекс рубрикатора НБУВ: К232.102.6
Рубрики:
Шифр НБУВ: Ж14161 Пошук видання у каталогах НБУВ Додаткова інформація про автора(ів) публікації: (cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці) Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
|