Методом молекулярной динамики исследовано влияние низкоэнергетического облучения собственными ионами на микронапряжения, возникающие в пленках ниобия. Ионный поток составлял 10 % от общего потока осаждаемых атомов, энергия ионов - 200 эВ. После термического осаждения пленки при температуре 300 K до толщины, при которой достигается стационарная плотность, проводили атомно-ионное осаждение пленки. Показано, что ионное воздействие приводит к изменению характера внутренних микронапряжений. Это изменение связано с образованием кластеров междоузельных атомов, образующихся в результате развития каскадов атом-атомных столкновений. Такие кластеры могут служить зародышами междоузельных дислокационных петель, которые наблюдали в экспериментах по влиянию ионного облучения на свойства пленок. Раскрыта корреляция между плотностью образуемых пленок, их микроструктурой и возникающими микронапряжениями.

• Марченко Іван Григорович (1957–) (фізико-математичні науки)

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"