Книжкові видання та компакт-диски Журнали та продовжувані видання Автореферати дисертацій Реферативна база даних Наукова періодика України Тематичний навігатор Авторитетний файл імен осіб
|
Пошуковий запит: (<.>ID=REF-0000159237<.>) |
Загальна кількість знайдених документів : 1
|
Гончаров А. А. Влияние подложки на ориентацию и структуру тонких пленок, полученных высокочастотным магнетронным распылением мишени диборида тантала / А. А. Гончаров, Г. К. Волкова, В. А. Коновалов, В. В. Петухов // Металлофизика и новейшие технологии. - 2006. - 28, № 12. - С. 1621-1628. - Библиогр.: 16 назв. - рус.Исследовано формирование тонких пленок (100 - 1000 нм) боридов тантала на различных подложках. Выявлена зависимость текстурированности напыляемой пленки от морфологии подложки и толщины покрытия. Степень совершенства текстуры максимальна на подложках из Ст. 3 со структурой пластинчатого перлита и минимальна - на аморфизированных и мелкокристаллических подложках. Определены особенности структуры растущих пленок, рассчитаны их основные субструктурные характеристики. Індекс рубрикатора НБУВ: К663-1
Рубрики:
Шифр НБУВ: Ж14161 Пошук видання у каталогах НБУВ Додаткова інформація про автора(ів) публікації: (cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці) Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
|
|
|