Оксанич А. П. Влияние тепловых условий выращивания монокристаллов кремния на образование свирлевых дефектов. Разработка метода и средств определения их плотности / А. П. Оксанич, С. Э. Притчин, А. В. Вашерук // Систем. технології. - 2005. - № 5. - С. 151-171. - Библиогр.: 15 назв. - рус.Зазначено, що зміна теплових умов вирощування (ТУВ) монокристалів кремнію під час переходу на діаметр вирощуваних монокристалів 200 і 300 мм призводить до появи свірлевих дефектів (СД). Однією з причин утворення цих дефектів є фонові домішки, зокрема кисень. Розглянуто питання побудови математичної моделі, що пов'язує ТУВ з утворенням СД, викликаних наявністю кисню в монокристалі кремнію. Розроблено метод визначення щільності ростових мікродефектів, що утворюють "свірл-дефекти". Індекс рубрикатора НБУВ: К345.5
Рубрики:
Шифр НБУВ: Ж69472 Пошук видання у каталогах НБУВ Додаткова інформація про автора(ів) публікації: (cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці) ![](/irbis_nbuv/images/info.png) Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
|