РЕФЕРАТИВНА БАЗА ДАНИХ "УКРАЇНІКА НАУКОВА"
Abstract database «Ukrainica Scientific»
НОВІ
НАДХОДЖЕННЯ
ПОШУК
РУБРИКАТОР

Бази даних

Реферативна база даних - результати пошуку

Книжкові видання та компакт-диски
Журнали та продовжувані видання
Автореферати дисертацій
Реферативна база даних
Наукова періодика України
Тематичний навігатор
Авторитетний файл імен осіб
Вид пошуку
Пошуковий запит: (<.>ID=REF-0000159391<.>)
Загальна кількість знайдених документів : 1

Оксанич А. П. 
Влияние тепловых условий выращивания монокристаллов кремния на образование свирлевых дефектов. Разработка метода и средств определения их плотности / А. П. Оксанич, С. Э. Притчин, А. В. Вашерук // Систем. технології. - 2005. - № 5. - С. 151-171. - Библиогр.: 15 назв. - рус.

Зазначено, що зміна теплових умов вирощування (ТУВ) монокристалів кремнію під час переходу на діаметр вирощуваних монокристалів 200 і 300 мм призводить до появи свірлевих дефектів (СД). Однією з причин утворення цих дефектів є фонові домішки, зокрема кисень. Розглянуто питання побудови математичної моделі, що пов'язує ТУВ з утворенням СД, викликаних наявністю кисню в монокристалі кремнію. Розроблено метод визначення щільності ростових мікродефектів, що утворюють "свірл-дефекти".


Індекс рубрикатора НБУВ: К345.5

Рубрики:
 Металургія напівпровідників 

Шифр НБУВ: Ж69472 Пошук видання у каталогах НБУВ 
Додаткова інформація про автора(ів) публікації:
(cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці)
  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
 
Національна бібліотека України імені В. І. Вернадського
Відділ наукового формування національних реферативних ресурсів
Інститут проблем реєстрації інформації НАН України

Всі права захищені © Національна бібліотека України імені В. І. Вернадського