Шалаев Р. В. Влияние УФ-излучения на рост и свойства алмазоподобных пленок нитрида углерода a-C:N / Р. В. Шалаев, В. Н. Варюхин, А. М. Прудников, Л. Н. Олицкий // Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології. - 2005. - 3, вип. 1. - С. 107-111. - Библиогр.: 5 назв. - рус.Представлено результати дослідження впливу УФ- і видимого випромінювання невисокої потужності (до 1 Вт/<$E roman см sup 2>) на структуру та властивості алмазоподібних плівок нітриду вуглецю a-C:N у процесі їх росту. Виявлено, що УФ-опромінювання ростової поверхні плівок є ефективним для травлення графітної фази, веде до росту структурної впорядкованості плівок і поліпшує їх якість. Ключ. слова: алмазоподобная пленка, излучение, магнетрон Індекс рубрикатора НБУВ: Г124.15:51 + В372.7
Рубрики:
Шифр НБУВ: Ж72631 Пошук видання у каталогах НБУВ Додаткова інформація про автора(ів) публікації: (cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці) Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
|