Куцова В. З. Вплив легування на структуру та електрофізичні властивості напівпровідникового кремнію / В. З. Куцова, О. А. Носко // Теория и практика металлургии. - 2007. - № 1. - С. 60-65. - Бібліогр.: 19 назв. - укp.Вивчено мікроструктуру та електрофізичні властивості зразків нелегованого монокристалічного напівпровідникового кремнію та кремнію, легованого В, Sn, Ge, Hf, Zr та композиціями B + Sn, B + Mo після різних видів термічної обробки (ТО). Показано, що ТО монокремнію та кремнію, легованого B, Sn, Ge, Hf, Zr, B + Sn, B + Mo в області субкритичних температур I фазового перетворення позитивно впливає на електрофізичні властивості напівпровідникових приладів. Індекс рубрикатора НБУВ: К345.5 + В379.271
Рубрики:
Шифр НБУВ: Ж15709 Пошук видання у каталогах НБУВ Додаткова інформація про автора(ів) публікації: (cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці) ![](/irbis_nbuv/images/info.png) Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
|