Сидоренко С. І. Вплив орієнтації монокристалічної підкладки кремнію на процеси фазоутворення в біметалічній тонкоплівковій композиції Co/Ni/Si / С. І. Сидоренко, Ю. М. Макогон, О. П. Павлова, І. Є. Котенко, Т. І. Вербицька // Наук. вісті НТУУ "КПІ". - 2007. - № 1. - С. 77-84. - Бібліогр.: 20 назв. - укp.За допомогою методів рентгенівської дифракції, мас-спектроскопії іонів і резистометрії досліджено вплив орієнтації (100), (111) монокристалічної підкладки Si та товщини проміжного шару Ni на процеси фазоутворення в біметалічних тонкоплівкових Co/Ni/Si за умови відпалів у вакуумі <$E 1,3~cdot~10 sup -3> Па в інтервалі температур 470 - 1170 К, 1 год. Процеси утворення силіцидних фаз у бінарних системах на підкладках Si з різною орієнтацією за низьких температур відпалу (670 К) розвиваються аналогічно процесам, що спостерігаються в системі Ni/Si. Встановлено, що змішаний силіцид (Ni - Со)Si2 формується за температури 870 К, що на 150 К нижче за температуру утворення Ni/Si2 в системі Ni/Si. Індекс рубрикатора НБУВ: В379.226
Рубрики:
Шифр НБУВ: Ж16492 Пошук видання у каталогах НБУВ Додаткова інформація про автора(ів) публікації: (cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці) Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
|