Досліджено вплив середовища відпалу на формування фазового складу в тонкоплівковій системі Ni(10 нм)/C(2 нм)/Si(001), які одержано за допомогою магнетронного методу напилення. Відпали відбувались як у проточному азоті, так і у вакуумі <$E 1,3~cdot~10 sup -4> Па в інтервалі температур 400 - 1000 <$E symbol Р>C протягом 30 с. Дослідження термічно активованих твердотільних реакцій тонкоплівкової системи проведено рентгенографічним, електронографічним, резистометричним методами, методом електронної мікроскопії на просвіт поперечних перерізів ("cross-section"), а також методом резерфордовського оберненого розсіяння. Встановлено, що середовище відпалу суттєво впливає на розвиток твердотільних реакцій у нанорозмірній плівковій композиції Ni(10 нм)/С(2 нм)/Si(001).

• Павлова Олена Петрівна (фізико-математичні науки)

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"