Описано результати дослідження розряду Пеннінга з додатковим електродом (зондом), який вводиться в центр розрядного проміжку через отвір в аноді для створення дугового розряду. Досліджено вольт-амперну характеристику дугового розряду, виявлено, що в діапазоні тисків аргону р = 0,05 - 0,5 Па існують мінімальні значення розрядного і зондового струмів для підтримування дуги. Ці критичні параметри пояснюються розігріванням зонда іонним струмом до температур, що забезпечують достатньо високий термоемісійний струм. Показано, що інтенсивне розпилення матеріалу зонда в дуговому розряді дає змогу збільшити швидкість напилення плівок вольфраму на порядок у порівнянні з напиленням в комірці Пеннінга з тліючим розрядом.

Індекс рубрикатора НБУВ: З843.395-06

Рубрики:

Тонкі плівки

Шифр НБУВ: Ж29409/А Пошук видання у каталогах НБУВ 

---

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"