Кулініч О. А. Дослідження приповерхневих шарів кремнію при його окисненні / О. А. Кулініч, М. А. Глауберман // Фізика і хімія твердого тіла. - 2005. - 6, № 1. - С. 65-67. - Бібліогр.: 9 назв. - укp.Наведено результати досліджень приповерхневих областей (ПО) кремнію у разі його окиснення. Виявлено, що ці області складаються із сильно разупорядкованого кремнію (СРК), який проявляє деякі діелектричні властивості, та шарів кришталевого кремнію з дислокаційними сітками, що закінчуються на межі цих шарів. Товщина шарів СРК є пропорційною товщині шарів термічно одержаного оксиду. Виявлено, що основною домішкою в ПО є кисень, який виявляючи пасивуючі та електричні властивості, впливає на зарядовий стан цієї області. Ключ. слова: кремній, оксид, окиснення, кисень, дислокації Індекс рубрикатора НБУВ: Г124.2-27 + В379.225
Рубрики:
Шифр НБУВ: Ж26618 Пошук видання у каталогах НБУВ Додаткова інформація про автора(ів) публікації: (cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці) Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
|