Галій П. В. Екзоелектронна емісійна спектроскопія приповерхневого шару монокристалічного кремнію / П. В. Галій, Т. М. Ненчук, Л. І. Ярицька // Фізика і хімія твердого тіла. - 2005. - 6, № 4. - С. 570-575. - Бібліогр.: 20 назв. - укp.За допомогою методу фототермостимульованої екзоелектронної спектроскопії (ФТСЕЕ) досліджено зразки монокристалічного кремнію з дефектним приповерхневим шаром, створеним низькотемпературною деформацією, внаслідок механічного скрайбування поверхні алмазним різцем (МСПАР). Проаналізовано можливі механізми виникнення максимумів ФТСЕЕ та природу екзоемісійно-активних центрів. На підставі експериментально одержаних спектрів ФТСЕЕ, МСПАР монокристалів кремнію, розраховано параметри кінетики ФТСЕЕ та концентрації емісійно-активних центрів. Ключ. слова: екзоелектронна емісія, фототермостимульована екзоемісія, кремній Індекс рубрикатора НБУВ: В379.225
Рубрики:
Шифр НБУВ: Ж26618 Пошук видання у каталогах НБУВ Додаткова інформація про автора(ів) публікації: (cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці) ![](/irbis_nbuv/images/info.png) Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
|