Проведено дослідження структурних характеристик і електрофізичних властивостей плівок алюмінію в інтервалі товщин 20 - 150 нм, одержаних за температури підкладки 300 К та які пройшли термообробку до 870 К. Показано, що за температури <$E 820~symbol С~10> К спостерігається різке збільшення питомого електричного опору, ступінь якого залежить від товщини плівок. Здійснено розрахунок параметрів електроперенесення за лінеаризованою та ізотропною моделями Ательє, Тоссе і Пішар.

• Чорноус Анатолій Миколайович (фізико-математичні науки)

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"