Марченко И. Г. Кинетика формирования пористости в тонких пленках ниобия при низкотемпературном осаждении / И. Г. Марченко // Вісн. Харк. нац. ун-ту. Сер. фіз. "Ядра, частинки, поля". - 2005. - N 710, вип. 3. - С. 109-112. - Библиогр.: 11 назв. - рус.С помощью метода молекулярной динамики исследовано формирование пористости в пленках ниобия при низкотемпературном осаждении. Показано, что вакансии располагаются упорядоченно, в виде кластеров, залегающих под сформировавшимися микротрещинами на поверхности пленки. Установлено, что с увеличением времени осаждения формируются кластеры больших размеров. Изучено изменение концентрации вакансий по толщине пленки. Ключ. слова: пленки, вакуумное осаждение, моделирование, ниобий, вакансии Індекс рубрикатора НБУВ: К235.140.26 + К663.030.022
Рубрики:
Шифр НБУВ: Ж29137 Пошук видання у каталогах НБУВ Додаткова інформація про автора(ів) публікації: (cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці) ![](/irbis_nbuv/images/info.png) Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
|