За допомогою методів комп'ютерного моделювання досліджено механізми формування наноструктури плівок ніобію за умов низькотемпературного атомного осаджування (НТАО). Вивчено зміну шорсткості плівок за температур 300 та 800 К. Виконано розрахунки зміни густини одержаних конденсатів за цих температур. Розроблено критерії подібності перебігу процесів низькотемпературного структуроутворення за різних швидкостей осаджування. Показано, що весь комплекс явищ: поява пористості, створення блочної структури, формування внутрішніх мікронапружень впродовж НТАО є результатом розвитку нестійкості структури на поверхні плівки, що росте.

• Марченко Іван Григорович (1957–) (фізико-математичні науки)

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"